专利名称：基于悬臂梁应变测量的F-P微位移测量系统线性度
比对装置
专利类型：实用新型专利发明人：蓝旭辉,沈小燕,刘源申请号：CN201821472944.9申请日：20180910公开号：CN208704658U公开日：20190405
摘要：本实用新型公开了一种基于悬臂梁应变测量的F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对装置。包括面阵器件、F‑P标准具干涉测量系统、应力加载系统、矩形等截面梁、悬臂梁固定结构和支架。支架一端固定在光学平台上，F‑P标准具干涉测量系统放置在其上方；面阵器件固定在矩形等截面梁上，矩形等截面梁的一端用悬臂梁固定结构固定在光学隔振平台上；通过应力加载系统改变应力F的大小，用F‑P标准具干涉测量系统和悬臂梁挠度计算公式计算相应的位移量，通过对二者线性度曲线的比较完成F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对。本实用新型具有测量运算简单，测量精细，准确度高等特点。
申请人：中国计量大学
地址：310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号中国计量大学
国籍：CN
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