设施用地审批流程如下：
1、申请使用设施用地的申请人向审批单位提出申请；
2、国土员现场勘查，核实是否符合土地利用总体规划；
3、报上级国土局审查；
4、由上级国土局审批。农业生产经营者需申请设施农用地的，应拟定设施农业建设方案，内容包括项目名称、建设地点、用地面积，设施类型、数量、用地规模等，与土地所有者集体经济组织和土地承包经营权人签订用地协议。、
5、申报必备材料，镇(街)人民政府向区人民政府写请示；用地单位向镇街写申请；营业执照或预先核准通知书涉及成立企业的(涉及注册登记企业)；设施农用地审核申请表土地承包经营合同。(土地使用者与集体土地承包经营户签订，未承包到户的集体土地与土地所有者签订。签订合同的用地主体与镇办请示的主体、复垦保证书主、业执照的法人四者必须统一)；
6、农业设施用地协议(与土地所有者签订)集体经济组织同意农业设施用地会议纪要。(纪要应明确记录：会议时间、地点、主持人、参加人、应到社员代表多少、实到多少、各代表的意见、最后决定是否同用地，决定同意前提标准为三分之二以上社员代表签字同意)。
法律依据：《中华人民共和国土地管理法》第九条国有土地和农民集体所有的土地，可以依法确定给单位或者个人使用。使用土地的单位和个人，有保护、管理和合理利用土地的义务。
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