专利名称：单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉专利类型：发明专利发明人：万关良
申请号：CN201010197285.4申请日：20100602公开号：CN101838843A公开日：20100922
摘要：本发明公开一种用于单晶炉的热屏及使用其的单晶炉，所述热屏包括定位部，所述定位部用于与炉体连接，且所述定位部形成有上部开口端；和锥台部，所述锥台部上端与定位部相连接且下端形成有下部开口端，其中，所述锥台部由基体和位于基体内表面上的内层构成，形成所述内层的内层材料从包括硅、硅化合物、耐1400℃金属、硼化物、碳化物、氮化物、以及上述物质的混合物的组中选择。通过在单晶炉内的石英坩埚上方安装本发明的热屏，从而实现了多装料的同时避免了在装料时混入碳成分，因而能够在提高生产效率、降低生产成本的同时获得高品质的单晶。此外，本发明还公开了一种单晶制备方法。
申请人：万关良
地址：100192 北京市朝阳区林萃西里48-708
国籍：CN
代理机构：北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：黄德海
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