（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910959148.0 （22）申请日 2019.10.10
（71）申请人 湖南红太阳光电科技有限公司
地址 410205 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
（10）申请公布号 CN110699674A
（43）申请公布日 2020.01.17
（72）发明人 赵增超
（74）专利代理机构 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 周长清
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种低频PECVD沉积氧化铝的方法
（57）摘要
本发明公开了一种低频PECVD沉积氧化铝
的方法，该方法是以三甲基铝为原料，以O
法律状态
法律状态公告日
2020-01-17 2020-01-17 2020-02-18
公开 公开
实质审查的生效
法律状态信息
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法律状态
实质审查的生效
权利要求说明书
一种低频PECVD沉积氧化铝的方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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